O robô Dextro da Lam Research traz precisão de 2x para a manutenção de semicondutores

A Lam Research acaba de lançar o Dextroum novo robô colaborativo criado especificamente para enfrentar os desafios da manutenção de equipamentos de fabricação de semicondutores. Esse robô móvel já está em funcionamento em várias fábricas de wafer de alta tecnologia em todo o mundo, cuidando de 50 a 100 câmaras em ferramentas Lam que precisam de manutenção mensal.

O Dextro foi projetado para solucionar alguns dos maiores desafios na manutenção de semicondutores e possui três recursos de destaque. Em primeiro lugar, ele instala peças consumíveis com mais de duas vezes a precisão do trabalho manual, o que ajuda a aumentar o desempenho da gravação nas bordas do wafer. O robô também aperta os parafusos de vedação a vácuo de acordo com uma especificação precisa, eliminando a taxa de erro usual de 5% das mãos humanas. Isso reduz o risco de flutuações na temperatura da câmara que poderiam prejudicar a produção.

Além disso, a Dextro possui tecnologia automatizada de limpeza e remoção de polímeros que pode eliminar o acúmulo de paredes laterais na câmara sem desmontar a câmara inferior. Isso também torna todo o processo mais seguro, pois elimina a necessidade de equipamentos de proteção, como máscaras de respiração, que eram obrigatórios na limpeza manual.

Young Ju Kim, vice-presidente e chefe da equipe de tecnologia de gravação de memória da Samsung Electronics, compartilhou suas ideias sobre a importância de uma manutenção rápida e eficiente: "Quando o equipamento de fabricação precisa de manutenção, o trabalho deve ser feito de forma rápida e eficiente para evitar o tempo de inatividade prolongado da ferramenta e o desperdício de custos. A manutenção livre de erros feita pela Dextro ajuda a impulsionar melhorias na variabilidade e no rendimento da produção."

No momento, a Dextro trabalha com as ferramentas de gravação dielétrica das séries Flex G e H da Lam, e o plano é expandir sua compatibilidade para mais equipamentos até 2025. O sistema funciona em um carrinho móvel e é controlado por técnicos ou engenheiros da fábrica, usando diferentes efetores finais para cada tarefa de manutenção.